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高品质碳化硅单晶衬底产业化扩产项目 环境影响评价报告表全本公开

发布时间: 2019/08/06 17:00,类别: News

        为了保障公众对北京天科合达半导体股份有限公司《高品质碳化硅单晶衬底产业化扩产项目》环境影响评价报告表的参与权、知情权、监督权。依据北京市环境保护局关于《转发环境保护部办公厅<建设项目环境影响评价政府信息公开指南(试行)>的通知》,现将《高品质碳化硅单晶衬底产业化扩产项目》内容公示如下: 

项目名称:高品质碳化硅单晶衬底产业化扩产项目

 建设单位:北京天科合达半导体股份有限公司

 建设地点:北京市大兴区中关村科技园区大兴生物医药产业基地天荣街9号 

建设内容:本次改扩建新增设备,并对抛光工序进行变更。本次新增真空感应加热生长炉设备60台,新增单面抛光机7台,新增双面研磨机5台,新增切割机5台等,将二氧化硅抛光改为“双氧水+二氧化硅”抛光。本项目新增员工138人,年产3万片6英寸碳化硅晶片。本次改扩建租赁新增面积1900m2,改扩建完成后项目面积为5850m2,主要有晶体生长间、加工间、研磨间、抛光间、清洗间、检测间等。本项目产生的废气经收集处理后分别通过25米高排气筒P1、P2、P3排放。

 您可通过电话联系、发邮件、到访及通信等方式索取本项目环境影响评价报告。 

联系人:王波联系电话:13811031580邮箱:seaweave@126.com 

附件下载:点击下载
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